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ビサイ カコウ ト レジスト

微細加工とレジスト / 野々垣三郎著

(高分子新素材one point / 高分子学会編;3)
データ種別 図書
出版者 東京 : 共立出版
出版年 1987.11
本文言語 日本語
大きさ iv, 99p ; 19cm

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巻 次 配架場所 請求記号 登録番号 状 態 コメント 予約

保存書庫(図書) 549.7/N95 0000009336

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著者標目 野々垣, 三郎 <ノノガキ, サブロウ>
件 名 BSH:集積回路
NDLSH:集積回路
NDLSH:電子光学
分 類 NDC8:549.7
NDC7:549.8
書誌ID 2000008111
ISBN 4320042271
NCID BN01734322

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